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PAS 5500上市后，ASML的技术优势得到市场的承认。但是，芯片厂商在选择光刻机时会考虑多种因素。光刻机技术领先被看成是日本芯片制造成功的一个主要原因，当美国一线厂商将日本企业作为竞争对手时，他们自然会倾向于购买日本光刻度机。美国企业指望用相同的技术打败对方，在战略上似乎并不是明知的选择。ASML在90年代末的市场份额达到37%，主要得益于美国二线厂商和中国台湾和韩国厂商的订单。2001年之后，ASML的市场份额逐渐上升到50%，成为市场第一名。促成这一进步的主要是两项技术：双工件台和浸润式光刻机。
