บีโอไอ มี “มาตรการส่งเสริมการลงทุนเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพ” ด้วยการกำหนดให้ลงทุนเพียงบางส่วนในสายการผลิต โดยไม่จำเป็นต้องลงทุนใหม่ทั้งหมด ไม่ว่ากิจการที่ดำเนินการอยู่เดิมไม่ว่าจะเคยได้รับการส่งเสริมฯ จากบีโอไอหรือไม่ก็ตาม สามารถยื่นขอรับการส่งเสริมการลงทุนตามมาตรการนี้ได้ โดยผู้ยื่นขอรับส่งเสริมฯ สามารถเลือกลงทุนได้ภายใต้มาตรการย่อย 5 ด้าน ได้แก่ การติดตั้งแผงโซลาเซลล์เพื่อการประหยัดพลังงาน การนำระบบอัตโนมัติและหุ่นยนต์ มาใช้แทนแรงงานคน การนำการวิจัยและพัฒนามายกระดับการผลิตเดิม การดำเนินการเพื่อให้ได้รับใบรับรอง ISO (อ่านว่า ไอ-เอส-โอ) และการนำเทคโนโลยีดิจิทัลมาใช้โดยไม่จำเป็นต้องลงทุนเครื่องจักรหรืออุปกรณ์ นอกจากนี้ กิจการใดที่ได้รับการส่งเสริมตามมาตรการปรับปรุงประสิทธิภาพแล้ว ก็ยังสามารถยื่นขอรับการส่งเสริมฯ ซ้ำในมาตรการนี้ได้อีกด้วย
ผู้ที่ได้รับการส่งเสริมตามมาตรการนี้ จะได้รับสิทธิประโยชน์ยกเว้นภาษีเงินได้นิติบุคคล 3 ปี ในสัดส่วน 50% ของเงินลงทุนที่ใช้ในการปรับปรุงประสิทธิภาพ รวมทั้งสิทธิประโยชน์ยกเว้นอากรนำเข้าเครื่องจักร
ตัวอย่างบริษัทที่ได้รับการส่งเสริมตามมาตรการปรับปรุงประสิทธิภาพจากบีโอไอ เช่น บริษัท ศรีบริสุทธิ์ ฟอร์จจิ้ง เทคโนโลยี ซึ่งประกอบกิจการผลิตชิ้นส่วนยานยนต์ด้วยการทุบขึ้นรูปโลหะร้อน ได้รับการส่งเสริมฯ จากโครงการนำระบบผลิตไฟฟ้าพลังงานแสงอาทิตย์บนหลังคาหรือโซลาร์รูฟท็อปมาใช้ในโรงงานเพื่อการประหยัดพลังงาน หรือบริษัท ทรอปิคอลแคนนิ่ง (ประเทศไทย) ซึ่งเป็นผู้ผลิตอาหารทะเลบรรจุกระป๋อง ได้รับการส่งเสริมฯ จากโครงการปรับเปลี่ยนไลน์การบรรจุทูน่าในถุงเพาซ์แบบอัตโนมัติทดแทนการใช้กระป๋องบรรจุอาหารและการใช้แรงงานคนจำนวนมาก
